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SF6氣體回收裝置的真空泵

  SF6氣體回收裝置的真空泵。

  (1)真空度不高的原因和消除方法

  SF6氣體回收裝置真空泵出口檢查,全壓強(qiáng)不高,旋去加油塞無(wú)明顯漏氣聲,可能存放不當(dāng),有水汽進(jìn)入泵內(nèi),應(yīng)更換新油。

  無(wú)漏氣聲,換油無(wú)效,應(yīng)檢查閥座上小油孔是否堵塞,小孔位置在泵的短閥片處月形槽內(nèi)。

  接入系統(tǒng)后真空度不高,可能是系統(tǒng)接頭,管道閥門(mén),各類設(shè)備有漏氣,應(yīng)逐一捉漏檢查,排除故障。

  SF6氣體回收裝置泵未經(jīng)拆卸清洗,突然出現(xiàn)撞擊聲,真空度下降,可檢查旋片彈簧是否折斷,或有無(wú)異物進(jìn)入泵內(nèi)。

  泵使用日久,真空度漸有下降,可能是潤(rùn)滑油混入可凝性氣體和潤(rùn)滑油裂介變質(zhì),以及零件老化所致,可用換油、換零件,逐一試驗(yàn)。

  泵拆裝后,有大漏氣聲,可能是橡膠件裝配不當(dāng),損壞,應(yīng)調(diào)整或更換。

  SF6氣體回收裝置排氣閥片老化變形、損壞或螺釘拉脫,會(huì)出現(xiàn)異樣氣聲和油面的顯著泛動(dòng),也會(huì)影響真空度,應(yīng)調(diào)整重裝。

  以上措施均無(wú)效,又無(wú)漏氣聲,可能使用日久,零部件磨損或受腐蝕所致,也可能是轉(zhuǎn)子變形,精度降低,甚至轉(zhuǎn)子、旋片等零件損壞,應(yīng)拆開(kāi)檢查,修整或換上新零件。

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